机械设备-专用设备行业：半导体设备中标双月报(23年1-2月)
本报告是华泰证券对2023年1-2月半导体设备中标情况的专题研究。
**核心观点**：
* **23年1-2月晶圆厂开标量低位运行，但扩产节奏后续有望底部反转：** 23年1-2月国内11家晶圆厂开标56台设备，开标量环比和同比均有下降。由于下游去库存速度尚未快速推进，晶圆厂扩产节奏仍处于低位。但参考中芯国际的资本支出预期，随着下游去库存推进，晶圆厂扩产有望底部反转，利好本土设备商国产替代。
* **23年1-2月测试、沉积、炉管等设备开标占比高：** 2023年1-2月开标的56台工艺设备中，主要来自上海积塔(30台)、华虹无锡(15台)、时代电气(6台)等。按设备类型看，测试设备、沉积设备、炉管设备占主要份额。
* **国产化率持续提升：** 受益于国内测试、刻蚀、炉管等设备厂家拉动，2023年1-2月中国大陆设备中标数量为26台，国产率达46.4%。时代电气设备国产率超70%。国产率较高的环节主要为沉积设备、刻蚀设备、光刻设备、前道检测设备。
* **关注半导体设备国产替代领军企业：** 国内半导体设备国产率较低，但国产替代空间较大。刻蚀、沉积、炉管、清洗、检测测试、离子注入等多环节国产替代取得进展。随着半导体周期回暖和国产化加速，设备商有望受益于下游补库存带来的订单释放，具有技术优势的龙头设备公司有望持续受益。
**关键数据与细节：**
* **开标数量：** 23年1-2月国内11家晶圆厂共开标56台工艺设备，环比(22年11-12月148台)、同比(22年1-2月146台)均有下降。
* **主要晶圆厂：** 上海积塔(贡献主要增量)、华虹无锡、时代电气等。
* **国产化率：** 2023年1-2月中国大陆设备中标数量为26台，国产率达46.4%。时代电气国产率超70%。
* **主要中标厂商：** 嘉芯迦能、北方华创、睿励科学、杭州中安电子。
* **设备分类：** 制程核心设备（光刻、刻蚀、沉积、离子注入等）、良率提升设备（前道检测、后道测试、清洗等）、辅助设备（炉管、CMP抛光、干法去胶等）。
* **分设备看：** 23年1-2月后道测试、沉积、炉管设备贡献主要扩产增量。沉积设备（9台）、前道检测设备(7台)、炉管设备(4台)。
**风险提示：**
晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。
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